「計畫審查」：
1. 計畫審查重點：依專業技術領域，召開計畫審查會議，審查重點如下。
| 計畫屬性 | 創新技術 / 創新服務 | |||||
| 申請階段 | Phase 1 | Phase 2 | Phase 2+ | |||
| 申請對象 | 個別申請 | 研發聯盟 | 個別申請 | 研發聯盟 | 個別申請 | 研發聯盟 |
| 計畫審查 | 1. 技術創新性。 2. 研發人員專業能力。 3. 實施方法、時程、計畫可行性。 4. 關鍵技術及智財引進與轉委託研究。 5. 人力、經費、使用設備等投入資源合適性。 6. 建議補助額度與權益。 | 1. 整合性研發動機。 2. 技術創新性。 3. 研發人員專業能力。 4. 實施方法、時程、計畫可行性。 5. 關鍵技術及智財引進與轉委託研究。 6. 人力、經費、使用設備等投入資源合適性。 7. 是否具合作綜效。 8. 聯盟成員分工協議與權利義務是否明確。 9. 建議補助額度與權益。 | 1. 技術創新性、可行性與競爭力。 2. 研發團隊實績與執行能力。 3. 實施方法、時程、計畫可行性。 4. 關鍵技術及智財引進與轉委託研究。 5. 人力、經費、使用設備等投入資源合適性。 6. 預期成果與產業效益。 7. 建議補助額度與權益。 | 1. 整合性研發動機。 2. 技術創新性、可行性與競爭力。 3. 研發團隊實績與執行能力。 4. 實施方法、時程、計畫可行性。 5. 關鍵技術及智財引進與轉委託研究。 6. 人力、經費、使用設備等投入資源合適性。 7. 聯盟成員分工協議與權利義務是否明確。 8. 預期成果與產業效益（是否具合作綜效）。 9. 建議補助額度與權益。 | 1.Phase 2研發成果加值應用可行性與競爭力。 2.研發團隊實績與執行能力。 3.實施方法、時程、計畫可行性。 4.關鍵技術及智財引進與轉委託研究。 5.人力、經費、使用設備等投入資源合適性。 6.預期成果與產業效益。 7.建議補助額度與權益。 | 1.整合性研發動機。 2.Phase 2研發成果加值應用可行性與競爭力。 3.研發團隊實績與執行能力。 4.實施方法、時程、計畫可行性。 5.關鍵技術及智財引進與轉委託研究。 6.人力、經費、使用設備等投入資源合適性。 7.聯盟成員分工協議與權利義務是否明確。 8.預期成果與產業效益（是否具合作綜效）。 9.建議補助額度與權益。 |
註：「數位內容」或「設計」計畫除上開審查重點外，須另具「科技涵量」，意即需整合與運用相關技術，建構或展現具科技涵量、智慧價值之創意數位內容或設計。
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